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工作地址 |
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(北京市北京经济技术开发区科创十三街18号院(经海路地铁站附近锋创产业园)30号楼)
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1.有验机经验,有微流控芯片独立开发经验(材料6/8寸si基,sic,GaN,蓝宝石等);2.熟练掌握蚀刻工艺,准确控制蚀刻液的成分和温度,确保蚀刻速度和选择性的优化;3.精通显影工艺液的配制和显影时间的控制,以保证图案的清晰度和分辨率;4.擅长优化涂胶显影工艺参数,有提升膜厚CD均匀性经验;5.熟悉曝光工艺环节,能够根据产品要求选择合适的金属材料和条件,确保产品的导电性和耐腐蚀性;6.熟悉工艺确定及建档recipe、sop编写,确保机台设备工艺稳定性、重复性;7. 英语四级以及以上,本科以上学历;8. 熟练使用office 软件;9. 跨部门沟通与合作协调能力;10. 有晶圆厂wet制程经验3年以上 1.负责工艺开发(DSA自组装光刻技术,sod新型退火方式开发,紫外uv灯运用,Si O、SiN转化,crrf光阻过滤循环逻辑开发(提高洁净度)、增粘单元工艺开发以及参数研究、洗边新工艺开发、以及新国产晶圆验证,降本等工艺开发; 2.负责涂胶显影设备的优化工作,设计DOE实验,通过测试wafer上Pa产生的数量,来确认机器存在的问题并进行优化。参与前道清洗机工艺测试流程,以及recipe编写; |
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